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新田貿易股份有限公司新田公司總代理 NISSAN TANAKA 田中產品通過日本熔接協會JQA認定與ISO9001認證,工業安全更有保障。

SUPER TORR高純度氣體調整器

適合於半導體、液晶顯示器、太陽能電池等不同的半導體材料的氣體壓力調整器。也廣泛應用於高純度或腐蝕性氣體與高壓氣體的氣體壓力調整器。

摘要

S-TORR高純度氣體調整器 高純度氣壓調整器可應用在作為高純度的氣體配管系統上或用在強烈的腐蝕性氣體的調整、負壓控制、潮汐隔膜,可使在實驗室或做研究上提供最大的安全性。 TORR TORR系列半導體用氣體調整器可依使用者需求,使用的氣體、入口端的壓力大小,流量大小,或特殊用途,如耐壓試驗、氣密試驗,或使用腐蝕性氣體等,選擇決定所使用TORR的型號規格。

使用規格

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BA

TORR-30系列為標準流量型號

入口側最高使用圧力 5.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.7MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 300~450L/min(nor)

TORR-50系列在流型號

入口側最高使用圧力 3.5MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 400~800L/min(nor)
TORR-80系列在流型號 入口側最高使用圧力 2.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 600~1200L/min(nor)
TORR-150系列在流型號 入口側最高使用圧力 2.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 1000~2400L/min(nor)
TORR-350系列大流量型號 入口側最高使用圧力 1.5MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 120~180m3/h(nor)

TORR-800系列為大流量型號

入口側最高使用圧力 1.0MPa
出口側最高使用圧力 0.6MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 280~650m3/h(nor)
EP

02系列為小流量調整器 S-TORRV(配合集成氣體系統)

入口側最高使用圧力 1.0MPa
出口側最高使用圧力 規格為0.7MPa
規格為0.4MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 40L/min(nor)

S-TORRV30系列為標準流速型號

入口側最高使用圧力 1.5MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 50~90L/min(nor)

S-TORRV 50系列為在流型號

入口側最高使用圧力 1.5MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 300~400L/min(nor)

S-TORRV 150系列為高流量型號

入口側最高使用圧力 2.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 600~1200L/min(nor)

一次高圧用

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BA

TORR-1300系列高壓一級標準流量的型號

入口側最高使用圧力 15MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 80~250L/min(nor)

TORR-2300系列主要用在高壓的型號

入口側最高使用圧力 0~25MPa計付 15.0MPa
0~35MPa計付 20.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 350~1400L/min(nor)

TORR-2500系列主要高壓大流量型號

入口側最高使用圧力 15MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 90m3/h(nor)
TORR-3300系列主要高壓大流量型 入口側最高使用圧力 20.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 120m3/h(nor)
EP S-TORRV1300系列高壓一級標準流量的型號 入口側最高使用圧力 15.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 40~80L/min(nor)

S-TORRV2300系列為初級高壓在流型號

入口側最高使用圧力 15MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 100~400L/min(nor)

2次側高圧用

BA

TORR-H系列為二次側高壓型號

入口側最高使用圧力 0~25MPa計付 15.0MPa
0~35MPa計付 20.0MPa
出口側最高使用圧力 0~20MPa計付 12.0MPa
0~10MPa計付 6.0MPa
0~5MPa計付 3.0MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 330~800L/min(nor)
EP

S-TORRV H50系列為二次側高壓型號

入口側最高使用圧力 15.0MPa
出口側最高使用圧力 3.0MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 20m3/h(nor)

腐蝕性氣體

BA TORR-2800SH系列腐蝕性氣體大流量型號 入口側最高使用圧力 15.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 220~1400L/min(nor)
EP

S-TORR V2300SH/AH系列為強腐蝕性氣體型號

入口側最高使用圧力 0~25MPa計付 15MPa
-0~10MPa計付 6MPa
-0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 在氮氣相當於流速 50~120L/min(nor) *CL2は10L/min(nor)、HCLは50L/min(nor)迄。